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    1200度單溫區CVD系統

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    • 技術參數
    • 詳細描述
    • 視頻展示
    • 標準配置
    • 選配件

    詳細技術參數

    TL1200 管式爐

     

     

    型號

    TL1200-C-I  

    TL1200- C-II  

     TL1200-C-III

    TL1200-C-IV

     功率

    3.5KW

    3.5KW

    3.5KW

    5KW

    爐管尺寸 

     高純石英管:60/80/100/150*1000mm(管徑可選)

    兩邊各放置一個爐塞,爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射,必須在加熱前放置在爐膛的正確位置

     外形尺(LXDXH)

    1700X800X1500

    1700X800X1500

    1700X800X1500

    1700X800X1500

    電源電壓

    220V

    相數

    單相

    加熱元件

    進口瑞典Canthal  A1 電阻絲   點擊進入資料下載

    控制方式

     

     采用宇電程序控溫儀表(標配)

    1、30段程序控溫智能PID調節。

    2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,,(當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時,

    主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護電爐)。

    3、帶有485 通訊接口(選購軟件時標配)

    4、具有斷電保護功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

    5、儀表具有溫度自整定的功能

    (更換進口儀表,需要另外付費,選購)

                                                            

    FP93控溫儀表                          歐陸儀表                   觸摸屏儀表

    (日本島電)

    控溫模式

    智能PID

    斷偶保護和顯示

    過溫保護

    過流保護

    控制精度

    +/- 1 ℃

    觸發器

    移相觸發

    電器

    浙江正泰

    可控硅

    106/16E 德國西門康

    最高溫度

    1200 ℃

    額定溫度

    1100 ℃

    升溫速率

    ≤30 ℃/ Min (可根據要求修改)

    推薦升溫速率

    ≤15℃/ Min

    熱電偶型號

    K  型 

    加熱段長度

    440mm

    恒溫區

    150mm

    溫場曲線

    溫度校準(選配)

    定期對管式爐進行溫度校準,可保持爐溫的準確性和均勻性。您可以在本公司選購一套簡單的校準工具,輔助您完成這項工作,完整的校準套件包括標準熱電偶,溫度校準儀,補償導線

                

    電器認證

    四周表面溫度

    ≤45℃

    閥門和法蘭

     

     

    GX供氣系統主要參數

     

    質量流量計

    量程和氣體

      5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型)

    耐壓

    3MP

    流量控制精度

    ±1.0%F.S

    最大工作(使用)壓力

    0.3MPa

    線性

    ±0.5%F.S.

    重復精度

    ±0.2% F.S

    路數

       1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)

    接頭類型

     雙卡套不銹鋼接頭

    系統工作壓力范圍

    0.1~0.5 MPa

    工作溫度

     5-45℃

    壓力真空表表

    -0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

    靜態混氣室

     Dia50 X 400MM

    接口

     Dia6  / 1/4”

    VS-0.1抽氣系統

    方案一或方案二任選一個

     

     

     

    電源

      220V

    尺寸

     650X650X600    /    650X650X300

    波紋管

     KF25X1000mm

    用該系統抽爐管真空度可達

     10 -1Pa

    真空擋板閥

     KF25

    VRD-8真空泵 

    (方案一)

    型號

    VRD-8

    極限分壓強

    5X10-2 Pa

    進排氣接口

     KF25

    電機轉速

    1440RPM

    抽氣速率

     2.2L/S

    電機功率

    0.4KW

    Preiffer ACP15無油多級羅茨泵

     

    (方案二)

    型號 ACP15
    電源  AC100-240   50/60HZ
    功率 450W
    重量 25KG
    最高氦氣漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
    抽氣速率 14  m3/h
    極限壓強 0.02Torr
    進、排氣接口 KF25

    電阻真空計

    (方案一)

       型號

    ZDR-1

       功率

    25W

      真空度測量范圍

    0.1-10 Pa

       電阻硅

    ZJ-52T

        

     

     

     

     

    瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷電容真空計

    (方案二)

     

     

     

       

     

         型號

    PCG554

      輸入電壓

     24V  1A DC(配有220V變壓器)

    真空計接口

    KF16

    數字顯示

    數字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數據顯示單位為torr

    產品尺寸

    46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

    重量

    5 lbs

    檢測氣體

    可檢測各種氣體,包括混合氣體,測量精確、重復性好。

    是否防腐

    防腐

    響應時間

    ≤30ms

    測量范圍

    3.8x10-5 -1125 Torr.

    分子泵機組(選購)

    (方案一或方案二任選一個)

    機組輸入電壓

    380V /220V

    波紋管

    KF40X1000

    真空擋板閥

    KF40

    機箱尺寸

    600X600X600

    分子泵

    (方案一)

     

     分子泵型號

      FJ620

      輸入電壓

     380V

      分子泵進氣口法蘭

      DN160

    分子泵抽氣速率L/S(對空氣)

      600

    分子泵極限壓強(Pa)

    6×10-7

    冷卻方式

     水冷

    冷卻水壓(MPa)

     0.1-0.2

    冷卻水溫度

    <25℃

    環境溫度

    0~40℃

    建議啟動壓強

    <100pa

    分子泵前級真空TRP-24

    (FJ620分子泵必須要配此前級泵)

    (方案二)

      

    功率

    0.75KW

    電壓

    380V

    轉速

    1450rpm

    進氣口徑

     KF25/KF40

    前機泵抽氣速率(L/S)

    6

    極限壓強

    4X10 -2Pa

     

     

    德國Pfeiffer真空泵

    (方案二)

     

    電壓

    220V

    功率

    110W

    抽氣接口

    KF40

    重量

    150KG

    前機泵抽速

    0.9m 3/ h

    抽氣速率(N2)

    33L/S

     

    復合真空計

    復合真空計型號

    ZDF

     電源

     220V   55W

    控制精度

    ± 1%

     真空計測量范圍

    10-5 -10 Pa

    質保期

    一年保修,終身技術支持

    特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不在保修期內。

    2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

    注意事項

    1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa

    2.由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa

    3.進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊

    4.對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開排氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

     

     



    CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統 ,最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

     

    這款CVD系統是由3路供氣系統+TL1200管式爐+低真空系統組成

     

    這款管式爐以進口電阻絲瑞典(Canthal)為加熱元件,采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表,能進行30段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。

    康泰爾電阻絲資料下載

     

     

    1、瑞典Kanthal A1 電阻絲

                                        

               

            Kanthal A1 原絲                        國產電阻絲爐膛                             VS                            進口電阻絲爐膛

     

    (1)、表面溫度高可達1420

    (2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識別時要注意)、不會生銹,使用時間再長都不會掉渣。

    (3)、Kanthal電阻絲資料下載

    (4)、Kanthal電阻絲網站:www.kanthal.com

    (5)、電阻均衡、溫場均衡性好

     

     

                                                                                                                                          

    大部分廠家使用的首鋼生產的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 電阻絲                     Kanthal  A1 電阻絲 電阻均勻 、 發熱量均衡

    有時候電阻不均衡、一部分發熱量大一部分發熱量小                                          溫場效果好                 

     

    2、安裝有空氣開關和漏電保護器:

    當電路過流或漏電時,空開會自動斷開。

     

    3、可以與電腦連接

    該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出

     

     

    4、爐膛

     

         

    1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

    2、采用日本技術成型。

    3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本最優的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場

    4、采用4周加熱,溫場更加均衡

     

    5、可選UL認證電氣板 (全部通過UL認證的進口電器)

     

     

    6、不銹鋼支撐架

           

     

    7、認證

         

     

    8、法蘭

                                                        

    鉸鏈式法蘭(選購)           可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭(選購)                 水冷法蘭(選購)

                                    

     

     

    TL1200-CVD系統標配

     

    描敘

    數量

    圖片

    TL1200管式爐

    1 套

                         

    石英管

    1根

    不銹鋼法蘭

    1 套

     

    不銹鋼爐鉤

    1 個

    氧化鋁爐塞

    1對

    高溫手套

    1 雙

    氧化鋁坩堝

    1個

    K型熱電偶 1個

    485轉換接口和軟件(選配)

    1 套

    說明書

    1本

     

    法蘭支撐架

    1 份

                                                

    供氣系統

     

    1臺
    VS-0.1抽氣系統 1臺
    卡套 4個                         
    波紋管 1支                          
    真空擋板閥 1個                     
    鋼瓶接頭(N代表路數) N個                  
    閥門接頭 2                              
    聚四氟乙烯管(N代表路數) NX5                         

     

     

     



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