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    1200℃-1400℃-1200℃三溫區PECVD系統

    • 技術參數
    • 詳細描述
    • 視頻展示
    • 標準配置
    • 選配件

    詳細技術參數

     管式爐

     

     

     

    型號

    TL1200-1400-1200-H-PE-I

     功率

    6KW

      爐管尺寸

    Dia 60(OD) X2700mm

    電源電壓

    220V

    相數

    單相

    加熱元件

    硅碳棒         國產優質電阻絲(可選配瑞典Kanthal  A1 進口電阻絲)    點擊進入資料下載

    控制方式

     

     采用宇電程序控溫儀表(標配)

    1、30段程序控溫智能PID調節。

    2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,,(當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時,

    主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護電爐)。

    3、帶有485 通訊接口(選購軟件時標配)

    4、具有斷電保護功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

    5、儀表具有溫度自整定的功能

    (更換進口儀表,需要另外付費,選購)

                                                           

    FP93控溫儀表                          歐陸儀表                   觸摸屏儀表

    (日本島電)

     控溫模式

    智能PID

    斷偶保護和顯示

    過溫保護

    過流保護

    控制精度

    +/- 1 ℃

    觸發器

    移相觸發

    電器

    浙江正泰

    可控硅

    106/16E 德國西門康

    最高溫度

    溫區一:1200 ℃             溫區二:1400 ℃                 溫區三:1200 ℃    

    額定溫度

    溫區一:1100 ℃             溫區二:1300 ℃                 溫區三:1100 ℃    

    升溫速率

    ≤30 ℃/ Min (可根據要求修改)

    推薦升溫速率

    ≤15℃/ Min

    熱電偶型號

    溫區一:K 型                  溫區二:S型                        溫區三:K型      

    加熱段長度

    溫區一:200mm             溫區二:200 mm                 溫區三:200mm

    電器認證

    四周表面溫度

    ≤45℃

    閥門和法蘭

     

    射頻電源

    (等離子體發生器)

     

    功率輸出范圍

      0-500W

     

     

     

     

     

    最大反射功率 

     200W

    工作頻率

    射頻:13.56MHZ±0.005%

    功率穩定度

     +/-0.1% 

    諧波分量

    ≤-50dbc

    射頻區域寬度

    0-600mm 可調

    匹配方式 

     自動

     冷卻方式

     分冷

     噪聲

     <50dB

    射頻接口

     50Ω   N-type

    輸入電源

     208-240V  50/60HZ

     

    GX供氣系統主要參數

     

    質量流量計

     

     

    量程和氣體

      5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型)

    耐壓

    3MP

    流量控制精度

    ±1.0%F.S

    最大工作(使用)壓力

    0.3MPa

    線性

    ±0.5%F.S.

    重復精度

    ±0.2% F.S

    路數

       1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)

    接頭類型

     雙卡套不銹鋼接頭

    系統工作壓力范圍

    0.1~0.5 MPa

    工作溫度

     5-45℃

    壓力真空表表

    -0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

    靜態混氣室

     Dia50 X 400MM

    接口

     Dia6  / 1/4”

    VS-0.1抽氣系統

    方案一或方案二任選一個

     

     

     

    電源

      220V

    尺寸

     650X650X600    /    650X650X300

    波紋管

     KF25X1000mm

    用該系統抽爐管真空度可達

     10 -1Pa

    真空擋板閥

     KF25

     

    VRD-8真空泵 

    方案一

    型號

    VRD-8

      極限分壓強

    5X10-2 Pa

       進排氣接口

     KF25

    電機轉速

    1440RPM

    抽氣速率

     2.2L/S

    電機功率

    0.4KW

    Preiffer ACP15

    無油多級羅茨泵

    方案二

    型號 ACP15
    電源  AC100-240   50/60HZ
    功率 450W
    重量 25KG
    最高氦氣漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
    抽氣速率 14  m3/h
    極限壓強 0.02Torr
    進、排氣接口 KF25

    電阻真空計

    (方案一)

    型號

    ZDR-1

    功率

    25W

      真空度測量范圍

    0.1-10 Pa

    電阻硅

    ZJ-52T

        

     

     

     

     

    瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷電容真空計

    (方案二)

     

     

     

     

       

     

    型號

    PCG554

      輸入電壓

     24V  1A DC(配有220V變壓器)

    真空計接口

    KF16

    數字顯示

    數字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數據顯示單位為torr

    產品尺寸

    46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

    重量

    5 lbs

    檢測氣體

    可檢測各種氣體,包括混合氣體,測量精確、重復性好。

    是否防腐

    防腐

    響應時間

    ≤30ms

    測量范圍

    3.8x10-5 -1125 Torr.

    分子泵機組(選購)

    (方案一或方案二任選一個)

    機組輸入電壓

    380V /220V

    波紋管

    KF40X1000

    真空擋板閥

    KF40

    機箱尺寸

    600X600X600

    分子泵

    (方案一)

     分子泵型號

      FJ620

      輸入電壓

     380V

      分子泵進氣口法蘭

      DN160

    分子泵抽氣速率L/S(對空氣)

      600

    分子泵極限壓強(Pa)

    6×10-7

    冷卻方式

     水冷

    冷卻水壓(MPa)

     0.1-0.2

    冷卻水溫度

    <25℃

    環境溫度

    0~40℃

    建議啟東壓強

    <100pa

    分子泵前級真空TRP-24

    (FJ620分子泵必須要配此前級泵)

    (方案二)

    功率

    0.75KW

    電壓

    380V

    轉速

    1450rpm

    進氣口徑

     KF25/KF40

    前機泵抽氣速率(L/S)

    6

    極限壓強

    4X10 -2Pa

     

     

    德國Pfeiffer真空泵(方案二)

     

    電壓

    220V

    功率

    110W

    抽氣接口

    KF40

    重量

    150KG

    前機泵抽速

    0.9m 3/ h

    抽氣速率(N2)

    33L/S

     

    復合真空計

    復合真空計型號

    ZDF

     電源

     220V   55W

    控制精度

    ± 1%

     真空計測量范圍

    10-5 -10 Pa

    質保期

    一年保修,終身技術支持

    特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不在保修期內。

    2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

    注意事項

    1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa

    2.由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa

    3.當使用的爐管為石英管時,爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當

    4.對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開排氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

     

       TL1200-1400-1200 滑竿式三溫區PECVD系統,由三臺滑竿式真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統、抽氣系統、真空測量系統、電動拖動機構組成。

     

     主要特點:

          1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。

          2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低

            3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小

            4、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。

            5、廣泛應用于:各種薄膜的生長,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。

     

       這款三溫區PECVD系統是一款能夠快速加熱、冷卻的PECVD系統,是在三臺管式爐安裝一對電動滑軌,可用電動滑動系統。加熱和冷卻速率最大可達100°C/min。為取得最快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s,是低成本快速加熱、冷卻的雙溫區PECVD系統。

     

       這款三溫區PECVD系統以瑞典Kanthal電阻絲和硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端采用不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa,  分兩個溫區,兩個溫區可以獨立控制、設置不同的溫度,使用方便,操作簡單,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、生長石墨烯、生長各種薄膜的理想產品.。

     

    1、加熱元件

                        

     

    (1)、硅碳棒的熱端粗度d為14mm、一般廠家采用的12MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負荷低,使用壽命長。

    (2)、m冷端長度為210mm, 一般廠家采用180mm, 冷端長爐頂溫度低。

    (3)、硅碳棒表面氧化非晶膜致密,能夠比較好的保護碳棒。

     

    2、 電阻絲爐膛

            

     (1)、使用真空吸附成型工藝,將加熱元件嵌入固定在耐火材料內,是集發熱和隔熱的為一體的電熱模塊單元

    (2)、使用溫度高達1250度,具有卓越的加熱效果和熱穩定性

    (3)、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本最優的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場

    (4)、采用4周加熱,溫場更加均衡

    (5)、電阻均衡、溫場均衡性好

                                                              

     電阻均勻 、 發熱量均衡

            溫場效果好                 

     

    3、安裝有空氣開關和漏電保護器:

    當電路過流或漏電時,空開會自動斷開。

     

    4、可以與電腦連接(選購)

    該爐配可有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出

     

     

    5、爐膛

     

                      

          進口爐膛                            VS                      國產爐膛 

    1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

    2、采用日本技術成型。

    3、爐膛材料熱容低、熱傳導系數低,從而散熱少、保溫好、反射率高。溫場均衡。

    4、爐膛氧化鋁絲細而長、耐溫高、抗熱漲冷縮能力強。

    5、爐膛表面光潔、不易掉粉。

    1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

    2、采用日本技術成型。

    3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本最優的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場

    4、采用4周加熱,溫場更加均衡

    6、可選UL認證電氣板 (全部通過UL認證的進口電器)

     

     

    7、多款可供選擇的各種法蘭 (直徑從25到250mm)

                               

    鉸鏈式法蘭(選購)       可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭(選購)    水冷法蘭(選購)

                       

     

    8、認證

         

     

     

     

    TL1200-1400-1200三溫區滑動式PECVD系統標配

    描敘

    數量

    圖片

    TL1200-1400-1200三溫區滑動式管式爐

    1 套

     

    石英管

    1根

    不銹鋼法蘭

    1 套

      

    不銹鋼爐鉤

    1 個

    氧化鋁爐塞

    3個

    高溫手套

    1 雙

    氧化鋁坩堝

    1 個

    K型熱電偶 3個

    485轉換接口和軟件(選配)

    1 套

    說明書

    1本

     

    法蘭支撐架

    1 份

     

    供氣系統

     1臺
    VS-0.1抽氣系統 1臺
    射頻電源 1臺

    卡套 4個                                       
    波紋管 1支                                    
    真空擋板閥 1個                           
    鋼瓶接頭(N代表路數) N個                  
    閥門接頭 2                              
    聚四氟乙烯管(N代表路數) NX5                         

     



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