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    VS高真空系統

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    • 技術參數
    • 詳細描述
    • 視頻展示
    • 標準配置
    • 選配件

    分子泵機組

    (方案一或方案二任選一個)

    機組輸入電壓

    380V /220V

    波紋管

    KF40X1000

    真空擋板閥

    KF40

    機箱尺寸

    600X600X600

    分子泵

     

    (方案一)

     

    分子泵型號

    FJ620

    輸入電壓

    380V

    分子泵進氣口法蘭

    DN160

    分子泵抽氣速率L/S(對空氣)

    600

    分子泵極限壓強(Pa)

    6×10-7

    冷卻方式

    水冷

    冷卻水壓(MPa)

    0.1-0.2

    冷卻水溫度

    <25℃

    環境溫度

    0~40℃

    建議啟東壓強

    <100pa

    分子泵前級真空泵TRP-24

    (FJ620分子泵必須要配此前級泵)

    (方案二)

    功率

    0.75KW

    電壓

    380V

    轉速

    1450rpm

    進氣口徑

    KF25/KF40

    前機泵抽氣速率(L/S)

    6

    極限壓強

    4X10 -2Pa

    德國Pfeiffer真空泵

    (方案二)

     

    電壓

    220V

    功率

    110W

    抽氣接口

    KF40

    重量

    150KG

    前機泵抽速

    0.9m 3/ h

    抽氣速率(N2)

    33L/S

    復合真空計

     

    復合真空計型號

    ZDF

    電源

    220V   55W

    控制精度

    ± 1%

    真空計測量范圍

    10-5 -10 Pa

       

                                                                                                                    FJ-620分子泵機組

     

           FJ-620/FJ-500F型系列復合分子泵機組是由F160/620系列各性能復合分子泵或FF-160/500F系列復合分子泵,前級抽氣泵,隔斷放氣閥,前級管路,斷水保護器,分子泵電源、高真空檢測系統(復合真空計),控制電源等組裝于機架上而成的清潔超高真空獲得設備。安裝方便,操作簡單,易于聯接,性能可靠,可廣泛用于表面分析,加速器技術,半導體設備,等離子體技術,電真空器件的制造及真空技術各領域。

    FJ-620分子泵機組技術性能:

     

    產品型號

    FJ-620

    進氣口法蘭

    DN160LF

    DN160CF

    抽氣速率L/S(對空氣)

    600

    壓縮比    N2

              H2

    >109

    6×103

     建議啟動壓強

    <100 Pa

    極限壓強(Pa)

    6×10-6

    6×10-7

    排氣口法蘭

    KF25/KF40

    使用軸承

    精密機械軸承

    輸入電壓頻率(V/Hz)

    380±20/50

    環境溫度(℃)

    0~40

    前級泵型號

    RVP-6

    額定工作轉數(rpm)

    42,300

    冷卻方式

    水冷

    冷卻水壓力(MPa)

    0.1-0.2

    冷卻水溫度(℃)

    <25

    安裝方式

    任意

    重量(公斤)

    52

    長×寬×高

    730×520×700

    重量

    117

     

    2XZ-2真空泵

    電阻真空計

    進口電阻真空計 (可選)

    國產電阻真空計(標配)

    波紋管

    KF25(標配)

    KF40 (可選)

    真空擋板閥

    KF25(標配)

    KF40(可選)

    KF卡套

    標配3套

    KF25(標配)

    KF40(可選)

    變徑法蘭

    KF25(標配)

     KF40(可選)



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